全球知名半导体制造商罗姆(总部位于日本京都市)为了增强SiC功率元器件的产能,在ROHM Apollo Co.,Ltd.(总部位于日本福冈县)筑后工厂投建了新厂房。该厂房于2019年2月开工,于近日完工并举行了竣工仪式。
新厂房将配备融入了各种节能技术的生产设备,并使用100%可再生能源发电,是全新环保型工厂。
此外,还将引进各种灾害对策,并增强BCM(业务连续性管理)体制。从2021年1月起将逐步开始安装生产设备,并建立可满足SiC功率元器件中长期增长需求的生产系统。
罗姆自2010年开始量产SiC功率元器件(SiC SBD、SiC MOSFET)以来,一直在推进业内先进的技术开发,并较早实现了全SiC功率模块和沟槽结构SiC MOSFET的量产。 不仅如此,在制造方面,还建立了罗姆集团引以为豪的垂直统合型生产体制,并通过扩大晶圆的口径和引进新设备来提高生产效率,同时还致力于减轻生产过程中造成的环境负荷。
不仅罗姆阿波罗筑后的这栋新厂房,在罗姆集团旗下的SiC晶圆制造商SiCrystal GmbH(德国)工厂,也计划从下一年度开始启用可再生能源利用率100%的生产,该工厂因购买电力而产生的二氧化碳排放量将为零。这些举措将使SiC晶圆的主要生产工序全部成为利用可再生能源的环保型生产系统。
随着全球能源问题的突显,采取相应的对策已成为当务之急。SiC功率元器件有望成为电动汽车和工业设备节能的关键器件,未来,罗姆集团将继续努力提高SiC功率元器件的性能,同时将通过引进其生产过程中的环保型设备和利用可再生能源,为减轻环境负荷做出贡献。
<新厂房的特点>
新厂房在节能方面做出了极大努力,通过采用可有效利用废热的高效空调并引进纯水生产设备和LED照明,与以往设备相比,CO2排放量减少20%(约7,000t)。
此外,作为能够应对各种灾难的工厂,除了包括附带区域在内均采用避震结构等地震对策外,还预备了浸水应对措施,并配备了气体灭火设备和应急发电机等设备。
<罗姆集团在生产制造方面的环保举措>
罗姆集团通过采用ISO 14001环境管理体系的工厂来实施生产,以更大程度地减少全球环境负荷(化学物质和废物排放等),实现循环型经营。
此外,面对全球变暖,为了减少温室气体排放,罗姆通过建设智能工厂和使用可再生能源,积极打造能够减轻全球环境负荷的机制和生产技术。
在罗姆阿波罗筑后工厂,2019年引进了可再生能源,并逐步增加了来自可再生能源的电力使用量。未来,罗姆集团将继续努力减少生产制造过程中造成的环境负荷,并通过充分利用可再生能源等举措,为客户提供环保型产品,为实现无碳社会贡献力量。